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CdTe钝化介质膜的溅射沉积及其X射线光电子能谱研究

The Sputtering Deposition and the X-ray Photoelectron Spectroscopy Study for the CdTe Thin Film

    摘要
  • 摘要: 用Ar+束溅射沉积技术实现了CdTe薄膜的低温沉积生长。用X射线光电子能谱(XPS)分析技术对溅射沉积CdTe薄膜以及CdTe体晶中的Cd元素、Te元素化学环境进行了对比实验研究。实验表明：溅射沉积CdTe薄膜具有很好的组份均匀性，未探测到有元素(Cd、Te)沉积存在。

     

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