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自填隙原子对Si晶体性能影响的研究

卜琼琼 王茺 靳映霞 陆顺其 杨宇

卜琼琼, 王茺, 靳映霞, 陆顺其, 杨宇. 自填隙原子对Si晶体性能影响的研究[J]. 红外技术, 2012, (10): 598-601. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.10.010
引用本文: 卜琼琼, 王茺, 靳映霞, 陆顺其, 杨宇. 自填隙原子对Si晶体性能影响的研究[J]. 红外技术, 2012, (10): 598-601. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.10.010

自填隙原子对Si晶体性能影响的研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.10.010
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  • 中图分类号: O734

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