<em>3</em>~13μm宽带红外分束镜研究

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3~13μm宽带红外分束镜研究

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阙立志. 3~13μm宽带红外分束镜研究[J]. 红外技术, 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

引用本文:

阙立志. 3~13μm宽带红外分束镜研究[J]. 红外技术, 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

Study of a 3 μm to 13 μm Wideband Infrared Beamsplitter[J]. Infrared Technology , 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

Citation:

Study of a 3 μm to 13 μm Wideband Infrared Beamsplitter[J]. Infrared Technology , 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

阙立志. 3~13μm宽带红外分束镜研究[J]. 红外技术, 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

引用本文:

阙立志. 3~13μm宽带红外分束镜研究[J]. 红外技术, 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

Study of a 3 μm to 13 μm Wideband Infrared Beamsplitter[J]. Infrared Technology , 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

Citation:

Study of a 3 μm to 13 μm Wideband Infrared Beamsplitter[J]. Infrared Technology , 2011, 33(12): 695-698. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

3~13μm宽带红外分束镜研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

阙立志

江南大学理学院;江苏无锡214122
江南大学

基金项目: 中央高校基本科研业务费专项资金资助(JUSRP211A19;JUSRP31005)

中图分类号: TN216
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出版历程

Study of a 3 μm to 13 μm Wideband Infrared Beamsplitter

摘要: 以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3～13 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge.利用了Spectntm GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试结果表明该分束镜的平均透过率约为50％,具有宽带的分束特性,与设计结果基本相符.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中.
- 分束镜 /
- 电子束蒸发物理气相沉积 /
- 硒化锌 /
- 锗

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