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平面型24元InGaAs短波红外探测器

邵秀梅,  李淘,  邓洪海,  程吉凤,  陈郁,  唐恒敬,  李雪

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文章导航 > 红外技术  > 2011 >  33(9): 501-504
邵秀梅, 李淘, 邓洪海, 程吉凤, 陈郁, 唐恒敬, 李雪. 平面型24元InGaAs短波红外探测器[J]. 红外技术, 2011, 33(9): 501-504. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002
引用本文: 邵秀梅, 李淘, 邓洪海, 程吉凤, 陈郁, 唐恒敬, 李雪. 平面型24元InGaAs短波红外探测器[J]. 红外技术, 2011, 33(9): 501-504. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002
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SHAO Xiu-mei, LI Tao, DENG Hong-hai, CHENG Ji-feng, CHEN Yu, TANG Heng-jing, LI Xue. Planar-type 24 × 1 InGaAs Short Wave Infrared Detectors[J]. Infrared Technology , 2011, 33(9): 501-504. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002
Citation: SHAO Xiu-mei, LI Tao, DENG Hong-hai, CHENG Ji-feng, CHEN Yu, TANG Heng-jing, LI Xue. Planar-type 24 × 1 InGaAs Short Wave Infrared Detectors[J]. Infrared Technology , 2011, 33(9): 501-504. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002
shu

平面型24元InGaAs短波红外探测器

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002

  • 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083

  • 中国科学院上海技术物理研究所

详细信息

  • 中图分类号: TN215

Planar-type 24 × 1 InGaAs Short Wave Infrared Detectors

    摘要
  • 摘要: 设计了带有保护环结构的平面型24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用n-i-n+型InP/Ino.53Gao.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器.LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果；I-V测试表明器件的优值因子R0A约4.2×106Ω·cm2,在-0.1 V反向偏压下的暗电流密度约22 nA/cm2,拟合得到的理想因子接近1,说明正向电流成分主要为扩散电流；在室温20℃,器件的响应光谱在0.9～1.68 tm波段范围,其平均峰值电流响应率为1.24 A/W,平均峰值探测率为3.0×1012 cm·Hz1/2/W,量子效率接近95％,响应的不均匀性为2.63％.
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