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铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究

范茂彦,  姜胜林,  张丽芳

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文章导航 > 红外技术  > 2011 >  33(5): 296-300,308
范茂彦, 姜胜林, 张丽芳. 铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究[J]. 红外技术, 2011, 33(5): 296-300,308. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.05.012
引用本文: 范茂彦, 姜胜林, 张丽芳. 铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究[J]. 红外技术, 2011, 33(5): 296-300,308. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.05.012
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FAN Mao-yan, JIANG Sheng-lin, ZHANG li-fang. Research on Wet Etching of Microbridge for Ferroelectric Thick Film Focal Plane Detector[J]. Infrared Technology , 2011, 33(5): 296-300,308. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.05.012
Citation: FAN Mao-yan, JIANG Sheng-lin, ZHANG li-fang. Research on Wet Etching of Microbridge for Ferroelectric Thick Film Focal Plane Detector[J]. Infrared Technology , 2011, 33(5): 296-300,308. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.05.012
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铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.05.012

  • 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;昆明物理研究所,云南,昆明,650223;玉溪师范学院信息技术工程学院,云南,玉溪,653100

  • 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074

  • 玉溪师范学院信息技术工程学院,云南,玉溪,653100

  • 华中科技大学

  • 玉溪师范学院

基金项目: 国家自然科学基金委员会基金资助项目(60777043)%国家"八六三"基金资助项目(2007AA03Z120)
详细信息

  • 中图分类号: TN215

Research on Wet Etching of Microbridge for Ferroelectric Thick Film Focal Plane Detector

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