溶胶-凝胶法制备Al<em>3</em>+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能

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溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能

宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 刘新近, 庄继胜, 王茺, 杨宇

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宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 刘新近, 庄继胜, 王茺, 杨宇. 溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能[J]. 红外技术, 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

引用本文:

宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 刘新近, 庄继胜, 王茺, 杨宇. 溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能[J]. 红外技术, 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LIU Xin-jin, ZHUANG Ji-sheng, WANG Chong, YANG Yu. Structural and Optical Properties of Aluminum-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

Citation:

SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LIU Xin-jin, ZHUANG Ji-sheng, WANG Chong, YANG Yu. Structural and Optical Properties of Aluminum-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 刘新近, 庄继胜, 王茺, 杨宇. 溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能[J]. 红外技术, 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

引用本文:

宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 刘新近, 庄继胜, 王茺, 杨宇. 溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能[J]. 红外技术, 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LIU Xin-jin, ZHUANG Ji-sheng, WANG Chong, YANG Yu. Structural and Optical Properties of Aluminum-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

Citation:

SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LIU Xin-jin, ZHUANG Ji-sheng, WANG Chong, YANG Yu. Structural and Optical Properties of Aluminum-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2011, 33(2): 80-84. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

云南大学工程技术研究院,光电信息材料研究所,云南,昆明,650091;昆明物理研究所,云南,昆明,650223
昆明物理研究所,云南,昆明,650223
云南大学工程技术研究院,光电信息材料研究所,云南,昆明,650091
云南大学
中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 兵器支撑项目

中图分类号: TN213
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出版历程

Structural and Optical Properties of Aluminum-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

摘要: 采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光透射光谱(UV-Vis transmittance spectrum)和扫描电镜(SEM)研究了退火温度和Al3+掺杂浓度对ZnO:Al薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,随退火温度的升高或进行适当浓度的Al3+掺杂,可使(002)衍射峰的强度增强,晶粒尺寸增大,半高宽减小,薄膜的结晶质量明显改善,且可见光透过率高.
- ZnO:Al薄膜 /
- 紫外-可见光透射光谱(UV-Vis transmittance spectrum) /
- 扫描电镜(SEM)

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