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不同靶间距下非晶态碲镉汞薄膜生长及厚度均匀性研究

杨丽丽,  王光华,  孔金丞,  李雄军,  孔令德,  余连杰,  李凡,  邓功荣,  姬荣斌

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杨丽丽, 王光华, 孔金丞, 李雄军, 孔令德, 余连杰, 李凡, 邓功荣, 姬荣斌. 不同靶间距下非晶态碲镉汞薄膜生长及厚度均匀性研究[J]. 红外技术, 2011, 33(1): 13-16. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.01.004
引用本文: 杨丽丽, 王光华, 孔金丞, 李雄军, 孔令德, 余连杰, 李凡, 邓功荣, 姬荣斌. 不同靶间距下非晶态碲镉汞薄膜生长及厚度均匀性研究[J]. 红外技术, 2011, 33(1): 13-16. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.01.004
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Growth and Thickness Uniformity Research of Amorphous MCT Films under Different Target Spacings[J]. Infrared Technology , 2011, 33(1): 13-16. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.01.004
Citation: Growth and Thickness Uniformity Research of Amorphous MCT Films under Different Target Spacings[J]. Infrared Technology , 2011, 33(1): 13-16. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.01.004
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不同靶间距下非晶态碲镉汞薄膜生长及厚度均匀性研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.01.004

  • 昆明物理研究所,云南昆明,650023

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 国家自然科学基金(60576069)
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Growth and Thickness Uniformity Research of Amorphous MCT Films under Different Target Spacings

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