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退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

宋立媛,  唐利斌,  姬荣斌,  陈雪梅,  李雄军

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文章导航 > 红外技术  > 2010 >  32(11): 659-662
宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 李雄军. 退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究[J]. 红外技术, 2010, 32(11): 659-662. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010
引用本文: 宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 李雄军. 退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究[J]. 红外技术, 2010, 32(11): 659-662. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010
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SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LI Xiong-jun. Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films[J]. Infrared Technology , 2010, 32(11): 659-662. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010
Citation: SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LI Xiong-jun. Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films[J]. Infrared Technology , 2010, 32(11): 659-662. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010
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退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 兵器支撑项目
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films

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