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测辐射热计微桥结构的形变分析

张一中,  吴志明,  许向东,  周影,  蒋亚东

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文章导航 > 红外技术  > 2008 >  30(9): 516-519,523
张一中, 吴志明, 许向东, 周影, 蒋亚东. 测辐射热计微桥结构的形变分析[J]. 红外技术, 2008, 30(9): 516-519,523. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006
引用本文: 张一中, 吴志明, 许向东, 周影, 蒋亚东. 测辐射热计微桥结构的形变分析[J]. 红外技术, 2008, 30(9): 516-519,523. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006
shu
ZHANG Yi-zhong, WU Zhi-ming, XU Xiang-dong, ZHOU Ying, JIANG Ya-dong. Deformation Analysis of Bolometer Micro-bridges[J]. Infrared Technology , 2008, 30(9): 516-519,523. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006
Citation: ZHANG Yi-zhong, WU Zhi-ming, XU Xiang-dong, ZHOU Ying, JIANG Ya-dong. Deformation Analysis of Bolometer Micro-bridges[J]. Infrared Technology , 2008, 30(9): 516-519,523. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006
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测辐射热计微桥结构的形变分析

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006

  • 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

  • 电子科技大学

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  • 中图分类号: TN215

Deformation Analysis of Bolometer Micro-bridges

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