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射频溅射CdTe薄膜结构特性分析

孔令德,  孔金丞,  赵俊,  张鹏举,  李雄军,  李竑志,  王善力,  姬荣斌

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文章导航 > 红外技术  > 2007 >  29(11): 627-629
孔令德, 孔金丞, 赵俊, 张鹏举, 李雄军, 李竑志, 王善力, 姬荣斌. 射频溅射CdTe薄膜结构特性分析[J]. 红外技术, 2007, 29(11): 627-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.11.002
引用本文: 孔令德, 孔金丞, 赵俊, 张鹏举, 李雄军, 李竑志, 王善力, 姬荣斌. 射频溅射CdTe薄膜结构特性分析[J]. 红外技术, 2007, 29(11): 627-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.11.002
shu
KONG Ling-de, KONG Jin-cheng, ZHAO Jun, ZHANG Peng-ju, LI Xiong-jun, LI Hong-zhi, WANG Shan-li, JI Rong-bin. Structural Analysis of RF Magnetron Sputtered CdTe Films[J]. Infrared Technology , 2007, 29(11): 627-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.11.002
Citation: KONG Ling-de, KONG Jin-cheng, ZHAO Jun, ZHANG Peng-ju, LI Xiong-jun, LI Hong-zhi, WANG Shan-li, JI Rong-bin. Structural Analysis of RF Magnetron Sputtered CdTe Films[J]. Infrared Technology , 2007, 29(11): 627-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.11.002
shu

射频溅射CdTe薄膜结构特性分析

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.11.002

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650023

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 国家自然科学基金(60576069)%云南省自然科学基金(2004E0055M)
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Structural Analysis of RF Magnetron Sputtered CdTe Films

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