变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响

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变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响

孔金丞, 李艳辉, 赵俊, 唐利斌, 姬荣斌

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孔金丞, 李艳辉, 赵俊, 唐利斌, 姬荣斌. 变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响[J]. 红外技术, 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

引用本文:

孔金丞, 李艳辉, 赵俊, 唐利斌, 姬荣斌. 变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响[J]. 红外技术, 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

KONG Jin-cheng, LI Yan-hui, ZHAO Jun, TANG Li-bin, JI Rong-bin. Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)[J]. Infrared Technology , 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

Citation:

KONG Jin-cheng, LI Yan-hui, ZHAO Jun, TANG Li-bin, JI Rong-bin. Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)[J]. Infrared Technology , 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

孔金丞, 李艳辉, 赵俊, 唐利斌, 姬荣斌. 变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响[J]. 红外技术, 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

引用本文:

孔金丞, 李艳辉, 赵俊, 唐利斌, 姬荣斌. 变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响[J]. 红外技术, 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

KONG Jin-cheng, LI Yan-hui, ZHAO Jun, TANG Li-bin, JI Rong-bin. Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)[J]. Infrared Technology , 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

Citation:

KONG Jin-cheng, LI Yan-hui, ZHAO Jun, TANG Li-bin, JI Rong-bin. Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)[J]. Infrared Technology , 2007, 29(3): 140-142,146. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.03.005

昆明物理研究所,云南,昆明,650091
中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 国家自然科学基金(60576069)%云南省自然科学基金(2004E0055M)

中图分类号: TN213
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出版历程

Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)

摘要: 采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究.变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-CdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法.
- 开管变温循环热处理 /
- Hg1-xCdxTe /
- FWHM /
- 反射式X射线形貌相 /
- EPD

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