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磁控溅射Ge/Si多层膜的发光特性研究

宋超,  孔令德,  杨宇

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文章导航 > 红外技术  > 2007 >  29(2): 67-70
宋超, 孔令德, 杨宇. 磁控溅射Ge/Si多层膜的发光特性研究[J]. 红外技术, 2007, 29(2): 67-70. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.02.002
引用本文: 宋超, 孔令德, 杨宇. 磁控溅射Ge/Si多层膜的发光特性研究[J]. 红外技术, 2007, 29(2): 67-70. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.02.002
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SONG Chao, KONG Ling-de, YANG Yu. Study on the Photoluminescence Properties of Ge/Si multilayer Films Deposited by Magnetron Sputtering[J]. Infrared Technology , 2007, 29(2): 67-70. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.02.002
Citation: SONG Chao, KONG Ling-de, YANG Yu. Study on the Photoluminescence Properties of Ge/Si multilayer Films Deposited by Magnetron Sputtering[J]. Infrared Technology , 2007, 29(2): 67-70. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.02.002
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磁控溅射Ge/Si多层膜的发光特性研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2007.02.002

  • 云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091

  • 云南大学

基金项目: 国家自然科学基金(60567001)
详细信息

  • 中图分类号: O484.1

Study on the Photoluminescence Properties of Ge/Si multilayer Films Deposited by Magnetron Sputtering

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