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铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术

夏丽昆,  侯阳,  李银柱,  太云见,  袁俊,  莫启元

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夏丽昆, 侯阳, 李银柱, 太云见, 袁俊, 莫启元. 铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术[J]. 红外技术, 2006, 28(8): 489-492. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014
引用本文: 夏丽昆, 侯阳, 李银柱, 太云见, 袁俊, 莫启元. 铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术[J]. 红外技术, 2006, 28(8): 489-492. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014
shu
XIA Li-kun, HOU Yang, LI Yin-zhu, TAI Yun-jian, YAN jun, MO Qi-yuan. PID Control Technology in the Laser Etching System for Ferroelectric Materials[J]. Infrared Technology , 2006, 28(8): 489-492. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014
Citation: XIA Li-kun, HOU Yang, LI Yin-zhu, TAI Yun-jian, YAN jun, MO Qi-yuan. PID Control Technology in the Laser Etching System for Ferroelectric Materials[J]. Infrared Technology , 2006, 28(8): 489-492. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014
shu

铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014

  • 总装重庆军代局驻昆明地区军代室,云南,昆明,650223;昆明物理研究所,云南,昆明,650223;北京理工大学自动控制系,北京,100081

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650223

  • 总装重庆军代局驻昆明地区军代室,云南,昆明,650223

  • 总装重庆军代局

  • 中国科学院昆明物理研究所

详细信息

  • 中图分类号: TN213

PID Control Technology in the Laser Etching System for Ferroelectric Materials

    摘要
  • 摘要: 国内外已研究的网格化技术包括离子束刻蚀和激光化学辅助刻蚀.由于铁电体材料不易减薄至20μm以下,而且像元中心距也在逐步减小,采用离子束刻蚀技术实施网格化很困难.因此,为实现热释电非制冷焦平面探测器的网格化,减小热串音,提高器件的空间分辨率,采用了一套基于PID微机控制技术的激光化学辅助刻蚀系统对铁电材料进行了网格化刻蚀,较好地解决了大列阵铁电材料探测器的网状技术这一难题.
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