Experimental Study on Residual Gas Analysis of Exhausting from Infrared FPA Dewar
-
摘要: 实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.
点击查看大图
计量
- 文章访问数: 79
- HTML全文浏览量: 23
- PDF下载量: 11
- 被引次数: 0