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红外折/衍混杂f-theta镜研究

王肇圻,  刘娟,  傅汝廉

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文章导航 > 红外技术  > 2006 >  28(2): 77-80
王肇圻, 刘娟, 傅汝廉. 红外折/衍混杂f-theta镜研究[J]. 红外技术, 2006, 28(2): 77-80. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
引用本文: 王肇圻, 刘娟, 傅汝廉. 红外折/衍混杂f-theta镜研究[J]. 红外技术, 2006, 28(2): 77-80. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
shu
WANG Zhao-qi, LIU Juan, FU Ru-lian. Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band[J]. Infrared Technology , 2006, 28(2): 77-80. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
Citation: WANG Zhao-qi, LIU Juan, FU Ru-lian. Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band[J]. Infrared Technology , 2006, 28(2): 77-80. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
shu

红外折/衍混杂f-theta镜研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004

  • 南开大学现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071

  • 南开大学

基金项目: 中国科学院资助项目(60577015)
详细信息

  • 中图分类号: TN214

Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band

    摘要
  • 摘要: 根据现代红外激光扫描系统的需求,分别设计了工作于808 nm～1064 nm波段和1064 nm～1500 nm波段的折/衍混杂f-theta系统.系统分别由三片镜和四片镜组成,激光扫描范围分别为100 mm×100 mm和60 mm×60 mm.此二系统相配合,可以完成在808 nm～1500 nm波长范围的激光扫描工作.点列图分析表明,输出光斑质量优良均匀,在0视场、0.7视场、和全视场光斑均接近衍射极限.像差分析表明,系统最大色差为26 μm,最大场曲小于0.3 mm,最大f-theta误差小于0.03%.满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求.
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