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一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究

唐利斌,  郑云,  吴刚,  姬荣斌,  宋炳文,  黄晖

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文章导航 > 红外技术  > 2006 >  28(1): 7-11
唐利斌, 郑云, 吴刚, 姬荣斌, 宋炳文, 黄晖. 一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2006, 28(1): 7-11. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
引用本文: 唐利斌, 郑云, 吴刚, 姬荣斌, 宋炳文, 黄晖. 一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2006, 28(1): 7-11. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
shu
TANG Li-bin, ZHENG Yun, WU Gang, JI Rong-bin, SONG Bing-wen, HUANG Hui. Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2006, 28(1): 7-11. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
Citation: TANG Li-bin, ZHENG Yun, WU Gang, JI Rong-bin, SONG Bing-wen, HUANG Hui. Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2006, 28(1): 7-11. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
shu

一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 云南省自然科学基金(2004E0055M)%云南省自然科学基金(2003E0012Z)
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method

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