Design of Measuring the Stepped-Angle of Scanning Mirror with Linear CCD
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摘要: 介绍了采用线阵CCD测量扫描镜步进角度的方法,并给出了详细的实现方案,包括光学系统设计、硬件电路设计以及CCD数字化信号处理方法.解决了一般情况下无法做到的高精度非接触式动态测量问题,并为系统的工程化打下了坚实的基础.
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