1~<em>3</em>μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

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1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

洪雁, 赵鹏, 郑丽娟, 何丹, 裘萍

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洪雁, 赵鹏, 郑丽娟, 何丹, 裘萍. 1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究[J]. 红外技术, 2004, 26(6): 45-47. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

引用本文:

洪雁, 赵鹏, 郑丽娟, 何丹, 裘萍. 1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究[J]. 红外技术, 2004, 26(6): 45-47. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

洪雁, 赵鹏, 郑丽娟, 何丹, 裘萍. 1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究[J]. 红外技术, 2004, 26(6): 45-47. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

引用本文:

洪雁, 赵鹏, 郑丽娟, 何丹, 裘萍. 1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究[J]. 红外技术, 2004, 26(6): 45-47. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

昆明物理研究所,云南,昆明,650223
中国科学院昆明物理研究所

中图分类号: TN219
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出版历程

摘要: 简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.
- 短波红外光导探测器 /
- 阳极氧化 /
- 工艺条件 /
- 成品率

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