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128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究

黄江平,  杨春丽,  黎力,  杨登全,  张丽华,  李玉英

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文章导航 > 红外技术  > 2003 >  25(6): 54-58
黄江平, 杨春丽, 黎力, 杨登全, 张丽华, 李玉英. 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究[J]. 红外技术, 2003, 25(6): 54-58. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015
引用本文: 黄江平, 杨春丽, 黎力, 杨登全, 张丽华, 李玉英. 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究[J]. 红外技术, 2003, 25(6): 54-58. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015
shu
A Technical Study of Indium Film and Indium Bump Fabrication for 128×128 Hybrid Ferroelectric UFPAs[J]. Infrared Technology , 2003, 25(6): 54-58. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015
Citation: A Technical Study of Indium Film and Indium Bump Fabrication for 128×128 Hybrid Ferroelectric UFPAs[J]. Infrared Technology , 2003, 25(6): 54-58. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015
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128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

详细信息

  • 中图分类号: TN215

A Technical Study of Indium Film and Indium Bump Fabrication for 128×128 Hybrid Ferroelectric UFPAs

    摘要
  • 摘要: 着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程,并叙述了倒装互连技术,且给出了我们的成像演示照片和器件照片,展示了UFPA的应用前景.
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