带膜微通道板的工艺和特性研究

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带膜微通道板的工艺和特性研究

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闫金良. 带膜微通道板的工艺和特性研究[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

引用本文:

闫金良. 带膜微通道板的工艺和特性研究[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

Technology and Performance of Filmed Microchannel Plate[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

Citation:

Technology and Performance of Filmed Microchannel Plate[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

闫金良. 带膜微通道板的工艺和特性研究[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

引用本文:

闫金良. 带膜微通道板的工艺和特性研究[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

Technology and Performance of Filmed Microchannel Plate[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

Citation:

Technology and Performance of Filmed Microchannel Plate[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 84-87. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

带膜微通道板的工艺和特性研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.021

闫金良

烟台师范学院物理系,山东,烟台,264025
鲁东大学

中图分类号: TN105.1%TN223
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出版历程

Technology and Performance of Filmed Microchannel Plate

摘要: 微通道板(MCP)电子透射膜是决定Ⅲ代微光像管稳定性和可靠性的主要因素.采用有机衬底掩膜技术和冷基底溅射相结合的方法在MCP输入面制备非晶态Al2O3电子透射膜,测量了带膜MCP紫外光辐照清洗前后的电学特性. 讨论在多孔MCP输入面形成连续电子透射膜与气体辉光放电的关系,工艺失败对MCP的危害性.
- 微通道板 /
- 电子透射膜 /
- 像管

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