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微透镜及其应用简介

孔令彬,  易新建,  申毕红,  陈四海

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文章导航 > 红外技术  > 2002 >  24(2): 18-21
孔令彬, 易新建, 申毕红, 陈四海. 微透镜及其应用简介[J]. 红外技术, 2002, 24(2): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.02.005
引用本文: 孔令彬, 易新建, 申毕红, 陈四海. 微透镜及其应用简介[J]. 红外技术, 2002, 24(2): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.02.005
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The Microlens and Its Application[J]. Infrared Technology , 2002, 24(2): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.02.005
Citation: The Microlens and Its Application[J]. Infrared Technology , 2002, 24(2): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.02.005
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微透镜及其应用简介

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.02.005

  • 中国地质大学机电系,湖北,武汉,430074

  • 华中科技大学图象信息处理与智能控制教育部重点实验室,湖北,武汉,430074

  • 武汉水利电力学校,武汉,430070

  • 中国地质大学(武汉)

  • 华中科技大学

  • 武汉水利电力学校

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)%国家自然科学基金
详细信息

  • 中图分类号: TN256

The Microlens and Its Application

    摘要
  • 摘要: 对二元光学的产生和发展作了介绍,并阐述了二元光学元件之一的微透镜(microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用.微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论;而其制作过程包括:计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或离子(束)蚀刻以及复制产生微透镜,其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE(Reactive Ion Etching)技术;微透镜的测试主要包括衍射效率(diffractive efficiency)和点扩散函数(PSF)的测试,有直接法和间接法两种测试方法.微透镜可以微型化与阵列化,并且可以同微电子器件一起集成化,具有广泛的应用前景.
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