高级检索
ENGLISH

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

HgCdTe表面电化学腐蚀方法研究

周芳,  田萦,  姚英

downloadPDF
文章导航 > 红外技术  > 2001 >  23(4): 18-21
周芳, 田萦, 姚英. HgCdTe表面电化学腐蚀方法研究[J]. 红外技术, 2001, 23(4): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2001.04.006
引用本文: 周芳, 田萦, 姚英. HgCdTe表面电化学腐蚀方法研究[J]. 红外技术, 2001, 23(4): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2001.04.006
shu
The Method Study on Electrochemical Etch of HgCdTe Surface[J]. Infrared Technology , 2001, 23(4): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2001.04.006
Citation: The Method Study on Electrochemical Etch of HgCdTe Surface[J]. Infrared Technology , 2001, 23(4): 18-21. doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2001.04.006
shu

HgCdTe表面电化学腐蚀方法研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-8891.2001.04.006

  • 昆明物理研究所

  • 云南昆明物理研究所

详细信息

  • 中图分类号: TN215

The Method Study on Electrochemical Etch of HgCdTe Surface

    摘要
  • 摘要: 对HgCdTe晶片的研磨和抛光,不可避免的要在其表面造成可见的机械划痕和不可见的损伤区.表面损伤对探测器的影响很大,控制好HgCdTe晶片的表面损伤是制备高性能多元探测器一个重要的工艺环节.在本文中,用电化学腐蚀的方法观察到这种不可见损伤区的存在,用电子探针成分分析法验证了实验结果,对电化学腐蚀机理进行了讨论.实验结果表明:通过电化学腐蚀方法可以直接观察HgCdTe表面不可见损伤区;即使是在显微镜下看到HgCdTe晶片有一个光亮和无划痕的表面,也可能存在不可见的损伤区.
    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
  • 资源附件(0)
  • 加载中
WeChat 点击查看大图
计量
  • 文章访问数:  61
  • HTML全文浏览量:  15
  • PDF下载量:  5
  • 被引次数: 0
出版历程

目录

    /

    返回文章
    返回

    版权所有 © 《红外技术》编辑部京ICP备000000000号-1

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发    百度统计