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高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

李煜,  方辉,  谭果,  李军利,  郭健海,  史晔,  何熙,  冯涛,  张海军

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李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军. 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制[J]. 红外技术, 2017, 39(9): 785-793,797.
引用本文: 李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军. 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制[J]. 红外技术, 2017, 39(9): 785-793,797.
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LI Yu, FANG Hui, TAN Guo, LI Junli, GUO Jianhai, SHI Ye, HE Xi, FENG Tao, ZHANG Haijun. Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array[J]. Infrared Technology , 2017, 39(9): 785-793,797.
Citation: LI Yu, FANG Hui, TAN Guo, LI Junli, GUO Jianhai, SHI Ye, HE Xi, FENG Tao, ZHANG Haijun. Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array[J]. Infrared Technology , 2017, 39(9): 785-793,797.
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高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

  • 北方广微科技有限公司,北京 100089;昆明物理研究所,云南昆明 650223

  • 北方广微科技有限公司,北京,100089

  • 北方广微科技有限公司

详细信息

  • 中图分类号: TN215

Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array

    摘要
  • 摘要: 研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器.读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式.氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8μm,以尽可能增大桥面及VOx面积,有效提高像元响应率.器件采用高可靠性的金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,响应率大于15 mV/K,热响应时间小于10 ms.
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