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VO2薄膜常见制备方法综述

侯典心,  路远,  杨玚

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文章导航 > 红外技术  > 2016 >  38(12): 1020-1025
侯典心, 路远, 杨玚. VO2薄膜常见制备方法综述[J]. 红外技术, 2016, 38(12): 1020-1025.
引用本文: 侯典心, 路远, 杨玚. VO2薄膜常见制备方法综述[J]. 红外技术, 2016, 38(12): 1020-1025.
shu
HOU Dianxin, LU Yuan, YANG Yang. Review of the Common Preparation Methods of VO2Thin Films[J]. Infrared Technology , 2016, 38(12): 1020-1025.
Citation: HOU Dianxin, LU Yuan, YANG Yang. Review of the Common Preparation Methods of VO2Thin Films[J]. Infrared Technology , 2016, 38(12): 1020-1025.
shu

VO2薄膜常见制备方法综述

  • 电子工程学院，安徽合肥 230037; 红外与低温等离子体安徽省重点实验室，安徽合肥 230037; 脉冲功率激光技术国家重点实验室，安徽合肥 230037

  • 电子工程学院

基金项目: 脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目(SKL2013ZR03)。
详细信息

  • 中图分类号: TB321

Review of the Common Preparation Methods of VO2Thin Films

    摘要
  • 摘要: VO2是一种相变温度为68℃接近室温的热致相变材料，具有十分广泛的潜在应用价值，自从被发现以来针对它的研究就从未停止。如何使用恰当的制备方法简单、快速的制备性能良好的VO2薄膜一直是研究的热点之一。目前，VO2薄膜常见的制备方法主要有蒸发法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积工艺、分子束外延法及磁控溅射法等。本文详细介绍了每种方法的相应制备原理与国内外研究现状，并用表格的方式简洁明了地对比出每种方法的优势与不足，为不同条件下VO2薄膜的制备方法的选择提供了参考。同时，本文也对未来研究方向做出展望，对今后VO2薄膜的制备与应用研究有重要的借鉴意义。
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