Analysis of Infrared Absorption for 25?m Pitch Pixel of Micro-bolometer
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摘要: 介绍了一种计算多层结构微测辐射热计探测单元的红外吸收模型，并计算了所设计25?m微测辐射热计探测单元的红外吸收。当探测单元表面金属吸收层的方阻从2～600?/变化时，单元的吸收功率先逐渐增大，之后缓慢下降。对于300 K黑体辐射，当探测单元的吸收层方阻达到332?/时，吸收率达到最大。此时在8～14?m波段单元的红外吸收率平均值为72%，吸收功率为16 nW。在此基础上对探测单元结构的悬空高度进行优化，得到最优的两层悬空间隙高度均为0.8?m，最优吸收率为82%。
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