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硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究

孙玉虹 曹嘉峰 王成 陈晓勇 孔龄婕 丑修建 孙立宁

孙玉虹, 曹嘉峰, 王成, 陈晓勇, 孔龄婕, 丑修建, 孙立宁. 硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究[J]. 红外技术, 2015, (4): 347-350.
引用本文: 孙玉虹, 曹嘉峰, 王成, 陈晓勇, 孔龄婕, 丑修建, 孙立宁. 硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究[J]. 红外技术, 2015, (4): 347-350.
SUN Yu-hong, CAO Jia-feng, WANG Cheng, CHEN Xiao-yong, KONG Ling-jie, CHOU Xiu-jian, SUN Li-ning. The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source[J]. Infrared Technology , 2015, (4): 347-350.
Citation: SUN Yu-hong, CAO Jia-feng, WANG Cheng, CHEN Xiao-yong, KONG Ling-jie, CHOU Xiu-jian, SUN Li-ning. The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source[J]. Infrared Technology , 2015, (4): 347-350.

硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究

基金项目: 国家自然科学基金项目,编号51275492;中国博士后科学基金特别资助项目,编号2013T60557;中国博士后科学基金面上资助项目,编号2012M521118;江苏省博士后科研资助计划项目,编号1201038C。
详细信息
  • 中图分类号: TN212

The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source

  • 摘要: 硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件,其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能,然而,国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道,因此,为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布,对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL(Optronic Laboratories)系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试,相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3~5mm,中心波长在3.6mm处,其大气透过率接近90%,具有很好的大气透射度。
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