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射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响

杨玉卫,  张华,  杨坚,  古宏伟

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文章导航 > 红外技术  > 2014 >  (11): 880-884
杨玉卫, 张华, 杨坚, 古宏伟. 射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响[J]. 红外技术, 2014, (11): 880-884.
引用本文: 杨玉卫, 张华, 杨坚, 古宏伟. 射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响[J]. 红外技术, 2014, (11): 880-884.
shu
YANG Yu-wei, ZHANG Hua, YANG Jian, GU Hong-wei. Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics[J]. Infrared Technology , 2014, (11): 880-884.
Citation: YANG Yu-wei, ZHANG Hua, YANG Jian, GU Hong-wei. Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics[J]. Infrared Technology , 2014, (11): 880-884.
shu

射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响

  • 北京有色金属研究总院产业发展部,北京,100088

  • 北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所,北京,100088

  • 中国科学院电工研究所,北京,100190

  • 北京有色金属研究总院

  • 中国科学院电工研究所

详细信息

  • 中图分类号: O484%TN213

Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics

    摘要
  • 摘要: 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以CH4为气源，在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。Raman光谱分析表明，D峰和G峰分别位于1200～1450 cm－1和1500～1700 cm－1之间，说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰，可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响，分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中sp3含量的增加而增大的原因，从而找出一种利用PECVD方法制备DLC膜的最佳工艺参数。
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