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320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究

赵俊,  杨玉林,  李艳辉,  杨春章,  谭英,  齐航,  韩福忠,  邢一山,  王羽,  王晓璇,  姬荣斌,  孔金丞

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赵俊, 杨玉林, 李艳辉, 杨春章, 谭英, 齐航, 韩福忠, 邢一山, 王羽, 王晓璇, 姬荣斌, 孔金丞. 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究[J]. 红外技术, 2014, (6): 439-442,456.
引用本文: 赵俊, 杨玉林, 李艳辉, 杨春章, 谭英, 齐航, 韩福忠, 邢一山, 王羽, 王晓璇, 姬荣斌, 孔金丞. 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究[J]. 红外技术, 2014, (6): 439-442,456.
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ZHAO Jun, YANG Yu-lin, LI Yan-hui, YANG Chun-zhang, TAN Ying, QI Hang, HAN Fu-zhong, XING Yi-shan, WANG Yu, WANG Xiao-xuan, JI Rong-bin, KONG Jin-cheng. Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge[J]. Infrared Technology , 2014, (6): 439-442,456.
Citation: ZHAO Jun, YANG Yu-lin, LI Yan-hui, YANG Chun-zhang, TAN Ying, QI Hang, HAN Fu-zhong, XING Yi-shan, WANG Yu, WANG Xiao-xuan, JI Rong-bin, KONG Jin-cheng. Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge[J]. Infrared Technology , 2014, (6): 439-442,456.
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320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究

  • 昆明物理研究所,云南 昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 国家重大专项。
详细信息

  • 中图分类号: TN215

Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge

    摘要
  • 摘要: 报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料，平均宏观缺陷密度低于200 cm-2，平均半峰宽优于90 arcsec，平均腐蚀坑密度低于2.9×106 cm-2；采用标准的二代平面工艺制备的320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器，平均峰值探测率达到3.8×1011 cm?Hz1/2W-1，平均等效噪音温差优于17.3 mK，非均匀性优于6.5%，有效像元率高于99.7%。
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